德國(guó)易福門(mén)IFM真空傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種壓力傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、HANG KONG航天、JUN GONG、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、通風(fēng)管道等眾多行業(yè)。 上海穎哲工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司-東莞分公司，我公司具有良好的市場(chǎng)信譽(yù)，專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，憑著多年經(jīng)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，熟悉并了解市場(chǎng)行情，贏得了國(guó)內(nèi)外客戶*，在美國(guó)德國(guó)分別設(shè)有辦事處，國(guó)外廠家直接下單訂貨，一手貨源，價(jià)格好，質(zhì)量有保證，貨期短，也可提供報(bào)關(guān)單等證明，歡迎新老客戶前來(lái)詢價(jià)采購(gòu)。 德國(guó)易福門(mén)IFM真空傳感器的工作原理：
真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。 德國(guó)易福門(mén)IFM真空傳感器的相關(guān)參數(shù)：
綜合精度： 0.25%FS、0.5%FS輸出信號(hào)： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
零點(diǎn)溫漂移： ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃
補(bǔ)償溫度： 0~70℃
安全過(guò)載： 150%FS
極限過(guò)載： 200%FS
響應(yīng)時(shí)間： 5 mS(上升到90%FS)
負(fù)載電阻： 電流輸出型：大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ
絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級(jí)： IP65
長(zhǎng)期穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年
振動(dòng)影響： 在機(jī)械振動(dòng)頻率20Hz～1000Hz內(nèi)，輸出變化小于0.1%FS
電氣接口(信號(hào)接口)： 緊線螺母+四芯屏蔽線
機(jī)械連接(螺紋接口)： 1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等，其它螺紋可依據(jù)客戶要求設(shè)計(jì) 德國(guó)易福門(mén)IFM場(chǎng)發(fā)射真空傳感器：
場(chǎng)發(fā)射真空傳感器是采用MEMS加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射原理的微型真空傳感器。通過(guò)理論分析， 確立了該種傳感器中硅尖場(chǎng)發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽(yáng)極與硅尖距離為1μm的情況下， 可以觀察到陽(yáng)極電壓為10V左右時(shí)開(kāi)始有明顯的場(chǎng)發(fā)射電流。
利用硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象， 研制了一種基于硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射原理的場(chǎng)發(fā)射真空傳感器。利用MEMS加工工藝制作出傳感器樣機(jī)， 并搭建測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試其特性。通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)， 隨著真空度的提高， 傳感器輸出電流也會(huì)隨之增大， 而且真空度越高輸出電流越大， 分辨率、靈敏度越高。
德國(guó)易福門(mén)IFM壓阻式真空傳感器：
原理
壓阻式真空傳感器的測(cè)量部件是一個(gè)裝有固態(tài)壓力芯片，該芯片利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，在特定晶面上，采用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散成四個(gè)等值電阻，組成一個(gè)惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，當(dāng)壓力變化時(shí)，電橋失去平衡，輸出一個(gè)與壓力成正比的電信號(hào)，再由感應(yīng)智能芯片進(jìn)行非線性修正和溫度補(bǔ)償，終輸出與壓力成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。
理論函數(shù)
壓阻式真空傳感器是壓力變送器的一種，是將需要測(cè)量的真空變量轉(zhuǎn)換為可輸出的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，輸出信號(hào)與真空變量之間有一定的函數(shù)關(guān)系，主要用于測(cè)量過(guò)程中真空參數(shù)的測(cè)量與控制 [2] 。典型的二線制壓阻式真空傳感器的測(cè)量范圍0 ～ 100 kPa、工作電壓為12 ～ 36 V，工作電流為4 ～ 20 mA 的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出，采用V /I 轉(zhuǎn)換電路且零位可自由遷移。壓阻式真空傳感器輸出信號(hào)和真空度的函數(shù)關(guān)系式如公式( 1) ：
I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)
式中： P'為某一真空狀態(tài)下的示值，kPa； P 為傳感器的滿量程值，kPa； I 為P'真空狀態(tài)下對(duì)應(yīng)的輸出電流值，mA。
通過(guò)公式( 1) 可以得出某一真空傳感器在測(cè)量范圍內(nèi)任意真空度對(duì)應(yīng)的理論電流輸出值，為其準(zhǔn)確信號(hào)輸出提供參考。
在對(duì)真空傳感器校準(zhǔn)時(shí)，由于測(cè)量誤差是按照測(cè)量準(zhǔn)確度等級(jí)劃分的，典型的壓阻式真空傳感器
測(cè)量誤差和準(zhǔn)確度間的函數(shù)關(guān)系如公式( 2) ：
△A = ( 20 － 4) δP ( 2)
式中： △A 為測(cè)量誤差的上下限值； P 為此傳感器的滿量程值，kPa； δ 為某一真空傳感器標(biāo)注的準(zhǔn)確度等級(jí)。
準(zhǔn)確度等級(jí)是傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)，是一個(gè)定性的概念，通過(guò)公式( 2) 可以換算出真空傳感器在某一準(zhǔn)確度等級(jí)下的測(cè)量允許誤差限，可以判斷真空傳感器標(biāo)注的準(zhǔn)確度等級(jí)是否正確，如表1 所列。 |
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